第六百四十四章 空气里全是“拦路虎”

“这……这怎么可能？”

负责操作的研究员，看着显微镜下的景象，整个人都傻了。

为了这次实验，他们已经做了最充分的准备。

整个房间，在实验前，用消毒水和酒精，擦洗了三遍。

所有的实验人员，都换上了白大褂，戴上了口罩和帽子。

在他们看来，这已经是他们能做到的，最干净的环境了。

可结果，依旧如此。

消息传到801项目组的每日例会上，所有人一下子没了声音。

“我去看过现场了。”

化工所的负责人，一个五十多岁的老教授，一脸的无奈。

“我们用高倍显微镜观察了一下，发现落在硅片上的灰尘，尺寸从几微米到几十微米不等。”

他顿了顿，说出了一个更令人绝望的数据。

“而我们第一代光刻机，要加工的线宽，是10微米。”

换言之，空气中随处飘荡的一粒微小灰尘，它的尺寸，就可能比他们要制造的整个电路，还要大。

“这些灰尘，落在硅片上，就像在高速公路上，扔了一块大石头。”

林振替他做了总结。

“如果是在光刻胶下面，它会导致光刻胶凸起，曝光失真，形成针孔。”

“如果是在光刻胶上面，它会挡住光线，导致下面的光刻胶无法曝光，形成断线。”

“无论是哪一种，结果都是灾难性的。”

“我们甚至还没开始跑，就已经被这些看不见的拦路虎，给绊倒了。”

一个年轻的研究员，沮丧的说道。

“问题出在哪里？”

林振问道。

“问题出在……空气。”

老教授苦笑着回答。

“我们现在才明白，我们平时呼吸的，看似洁净的空气，对于微米级的半导体制造来说，到底有多脏。”

“我们缺少一套，能够有效过滤空气中微小颗粒，并且维持室内环境高度洁净的系统。”

“也就是林总师您之前说的，洁净室。”

所有人的目光，再次聚焦到林振身上。

又是林振。

似乎所有他们遇到的，想不通，解决不了的难题，林振早就已经预见到，并且给出了答案。

“我这里，有一套洁净室的设计方案。”

林振不想卖关子，他让耿欣荣把早就准备好的图纸，分发给众人。

“这套方案的核心，是三个东西：分区、正压、和过滤。”

林振指着图纸，开始讲解。

“首先，是分区。”

“我们要把整个实验区域，按照洁净度的不同，划分为不同的等级。比如，百级区，千级区，万级区。”

“越是核心的操作，就要在越高等级的洁净区里进行。人员和物料，必须按照规定的流线，单向流动，不能交叉，不能逆行。”

“其次，是正压。”

“我们要让洁净室内的气压，始终高于室外的气压。这样一来，空气就只会从室内往室外流，室外那些‘脏’空气，就流不进来了。”

“最后，也是最关键的，是过滤。”

林振在图纸上，画出了一个巨大的风机和复杂的管道系统。

chapter_content(); “我们要用强大的风机，把室外的空气，抽进来。然后，让这些空气，通过一个由高效

“过滤后的洁净空气，从天花板上，均匀地吹下来，形成一个垂直的单向气流，把室内产生的灰尘，都压到地面上，然后从地面的回风口，抽走。”

“人员进出，必须经过一个叫做风淋室的房间，用高速的洁净气流，吹掉身上携带的灰尘。”

“地面，要铺设带有粘性的地板，把鞋底的灰尘粘住。”

“所有的人，都必须穿上特制的，不产尘的洁净服，戴上头套、口罩、手套，把自己从头到脚，包得严严实实。”

林振描述的这个场景，让在场的所有人，都听得目瞪口呆。

这哪里是实验室，这简直比医院的手术室，还要夸张！

“林……林总师……”

材料所的所长，艰难的咽了口唾沫。

“您说的都很好

又是一个没有。

“没有，就造。”

林振的回答，一如既往的简单粗暴。

“过滤器的原理，很简单。就是用极细的纤维，织成一张网。纤维越细，网的孔隙就越小，过滤效果就越好。”

“我建议，材料所的同志们，可以去试试超细玻璃纤维。把玻璃，拉成几微米，甚至亚微米级别的细丝，然后通过静电纺丝或者熔喷工艺，制成无纺布滤芯。”

“如果玻璃纤维暂时做不到，也可以试试多层复合滤纸。用不同孔径的植物纤维滤纸，叠加在一起，也能起到一定的过滤效果。”

林振再次展现了他那堪称恐怖的，跨学科知识储备。

连滤芯的具体制造工艺，都说得头头是道。

材料所的所长，听得一愣一愣的，赶紧拿出小本本，把林振说的每一个字，都记了下来。

半个月后。

在749院全体工程技术人员的努力下。

龙国的第一个，真正意义上的百级洁净室，终于在一片废墟上，拔地而起。

虽然它的墙壁，是拿木板和塑料布临时搭建的。

虽然它的高效过滤器，是用土法制造的玻璃纤维和多层滤纸，拼凑而成的。

虽然它的洁净服，是拿普通的白布，找被服厂的老师傅，连夜赶工缝出来的。

可当粒子计数器上的读数，从室外的几百万，骤降到室内的几百时。

当第一缕经过过滤的，洁净的空气，从天花板上吹下来时。

所有参与建设的人，都流下了激动的泪水。

801工程，最基础，也是最重要的一道关卡，终于被他们攻克了。

林振站在洁净室门口，看着里面忙碌的身影，心里也颇为感慨。

这套洁净室的标准和技术，在未来，不仅仅能服务于半导体制造。

它还可以用于人工胰岛素的无菌生产，可以用于微型轴承的

它将像一颗种子，在龙国现代工业的各个领域，生根发芽。

就在所有人都以为，可以松一口气，准备大干一场的时候。

一个更棘手的问题，又冒了出来。

洁净室里，化工所的研究员，终于可以安心的，在光洁的硅片上，均匀的涂上一层紫色的光刻胶。

他谨慎的把涂好胶的硅片，放进接触式曝光机里。

打开紫外灯，曝光了三十秒。

然后，他取出硅片，准备进行下一步的显影。

可就在他拿起硅片的一瞬间。

诡异的一幕，发生了。

硅片上那层漂亮的，紫色的光刻胶，竟然像一块受潮的墙皮一样，整片整片，从硅片表面脱落了下来。

......

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