第354章 胡闻洲：回旋镖来得太快就像龙卷风

两人说话的时候。

核心专家组的众人目光，也都带着几分期许聚焦在了林决身上。

按理说.....

这种事情是不该就指望林决一个人来的。

要不然的话，不显得他们没用了吗？

但是吧......话又说回来了。

目前为止，林教授的方案完全没毛啊！

确实比他们提供的好太多了！

特别是林氏函子光学变式，在测试中的表现，完全刷新了众人对EUV多层膜误差控制的认知！

紧接着，众人便见台上的林决轻轻一笑，

“确实。”

闻言，陈望山不由得笑了出来。

至于房怀年几人，则是满脸讶异。

这小子......还真他娘是个人才啊！

整机闭环没跑完，你也敢提前做优化方案？

万一中间有超出预料的事情发生，那你不白干了吗？

不过.....

他们不知道的是，林决早已经通过胡老的手稿，在脑海中做过工程预演。

虽然最后他推演出来的数据，会和现实数据有着一定误差。

但却能够清晰的看到问题在哪里......

之后。

等整机闭关流程结束。

只需要通过相应的数据，再进行调整的就行。

两边同时进行。

还能够省下一部分时间。

当初面对胡闻洲时，他说他会让胡老看到那台能够和世界一流水平并驾的光刻机。

所以必须争分夺秒了。

而现在。

整机跑完，结果出来。

果然......

由于映射输出端的频率太快，在高电压情况下光路产生偏振，误差也就随之增大了......

在得到林决回答后，卢敬尧立马好奇问着，

“用的什么方法，压频率还是降电压？亦或者通过控制曝光来解决？”

林决轻轻一笑，当即给否了，“都不选。”

“？？？”

“？？？”

“？？？”

蒋墨侧过头看着他，又是好奇又是疑惑，

“都不选？那你想干啥？”

按照他们搞了大半辈子研究的惯性思维来讲。

目前只能调控这三个变量，然后再根据整机环境，慢慢做进一步调整。

林决平静开口，

“我们花了二十多天，把误差从

1.

2

压到

0.18，现在又为了高电压下的稳定性，再退回去吗！？

我不想这样做......”

会议室安静下来。

所有人目光放在林决身上。

于志明皱眉，

“那您的意思是......”

林决并未回答。

只是在电脑打开一个文档，然后将把

132

路的驱动时序图调了出来。

此时大屏幕上，无数表示着方波的红点全挤在一处。

“你们看，132

路同时跳会如何呢？”

他点了下鼠标，旁边弹出三行数据。

【电源瞬时跌落：4.3%】

【通道间串扰：2.1%】

【镜面局部应力：增大】

“在这种情况中，串扰和镜面局部应力增大，会导致双折射出现，然后产生偏振，出现误差。”

蒋墨想了想，也提出想法，“那要不将电压器错开呢？”

陈望山很快便摇了摇头，

“不行......错开只能解决电源和串扰，解决不了应力，因为应力是叠加态，就算错开，总应力依旧存在。”

房怀念笑道，

“老陈说得对，这方面蒋墨你不是专家，还是别提意见了。”

蒋墨有点恼火的翻了个白眼，不过还是闭嘴，不再多言。

紧接着。

在众人目光中。

林决将原本的画面切掉，新的优化方案出现在众人眼前.......

“好了，大家先看这个......”

........

同一时刻。

协和病房。

胡闻洲独自靠在病床上，看着眼前电脑上的电压排布，眉头不由皱起。

前几天。

当他听说实验室已经开始整机流程后，便也在同步做着模型改进.....

而现在他看到，在整个模型跑完后，

当电压达到某个临界值时，会反馈到镜面局部应力增大上。

按照经验。

他几乎是下意识判断出来，这种变化，最后会导致波前误差增大。

“光机所的设备会压不住模型输出端的变化？林决的模型竟然能优秀到这种程度吗？”

虽然有些难以置信。

但看着电脑上显示的结果，胡闻洲还是不由得失笑摇头。

与此同时。

他心中也默默打算。

得在中午吃饭的时候，跟所里说说这个情况。

“

至于改进方案......”

“从整套流程来看，可以从输出频率出发，然后再通过降电压和控制曝光，将这三个指标控制在相对稳定的状态......”

“但如此一来。”

“原本可能达到0.15nm

RMS的精度，只能稳定在0.20左右了。”

“不过，即使是这个数据，林决也做得足够好了......

拥有0.20nm

RMS精度的指标，再通过多重曝光，应该已经可以造成7nm以内的芯片。

就算不能量产，那也是巨大的进步了。”

能在一个月内，就将光机所研究了许多年的多层膜问题解决，已经足够说明林决的潜力。

至于更进一步。

胡闻洲笑着摇头，

“总不能光靠林决，就想着把产业链代差问题也搞定了吧？”

........

中午的时候。

胡闻洲给黄所那边打了个电话过去。

然后得到消息是.....核心专家组正在开会。

具体一点，是发现整机流程中，出现了波前误差偏振问题，在高电压下，极限误差会来到0.24nm

RMS。

“果然如此吗？”

胡闻洲没有一点意外，

“这样吧，你让老陈开完会给我打个电话。”

说着，他看了看电脑上的方案初步构想，

“就说波前误差解决的方法，我有点想法要跟他交流交流。”

“行......”

........

下午三点半。

陈望山的电话打到了胡闻洲手机上。

“老胡，你有事找我？”

电话中，陈望山一边吃着午饭，一边问着。

“是的，我听说所里第一次整机闭环流程出了点问题？”

“哦，你说那个啊，林决已经解决了啊，我们明天就开始改。”

“啊！？”

胡闻洲一时愣在原地。

看了看电脑上方案初稿。

这只是他的一个想法而已，而且还要花许多时间，才能补充完整，然后再进行推进的。

但现在呢？

陈望山说他们已经解决了！？

“对！林决的想法非常妙，核心专家组在听完后，全体一致通过！现在黄所那边，估计已经在签字了吧。”

胡闻洲愣在原地，张了张嘴，想说什么却说不出来。

回旋镖来得太快就像龙卷风啊.....