第三百八十一章 攻坚破局 工艺突围

张远方的办公室，很快就被安置在了实验大楼的顶层。靠窗的位置，摆着一张长长的工作台，上面堆满了碳化硅外延工艺的实验数据和参数图谱，旁边的电脑屏幕上，跳动着密密麻麻的曲线。

自从决定留下，张远方就一头扎进了实验室。每天天不亮就到岗，深夜才离开，连吃饭都是在实验室里随便对付几口。技术团队的成员们，也被他这股劲头感染，一个个铆足了劲，跟着他连轴转。

眼下摆在他们面前的，是一道绕不开的坎——外延层平整度始终达不到量产标准。

“张博士，你看这组数据。”技术负责人拿着一份刚出炉的报告，快步走到张远方身边，指着上面的曲线，“我们调整了三次生长温度，平整度还是差了0.2微米。这个误差，在实验室里能接受，但放到生产线，就是致命的缺陷。”

张远方皱着眉，接过报告，目光死死地盯着那些起伏的曲线。他手指在纸上快速划过，嘴里低声念叨着：“温度梯度、气体流量、衬底偏压……问题到底出在哪？”

他转身走到外延生长炉旁，仔细检查着每一个部件的运行状态。从气体输送管道到温度传感器，从衬底承载台到真空系统，一寸一寸地排查，生怕漏掉任何一个细节。

“把上周的实验记录调出来，我要对比一下。”张远方头也不抬地吩咐道。

很快，厚厚的一摞记录被搬了过来。张远方坐在工作台前，逐页翻看，红笔在纸上圈圈点点，不时在旁边写下几行批注。窗外的天色，从亮到暗，又从暗到亮，他的眼睛里布满了血丝，却丝毫没有倦意。

黄江北每天都会抽空来实验室转一圈，有时只是站在

门口，看着张远方忙碌的身影，悄悄放下一份热腾腾的宵夜，又悄悄离开。他知道，科研攻关急不得，能做的，就是给他们创造最好的条件，解决一切后顾之忧。

这天下午，黄江北又一次来到实验室，刚进门，就被张远方一把拉住。

“黄市长，我找到问题的症结了！”张远方的眼睛里闪烁着兴奋的光芒，声音因为激动而微微颤抖。

黄江北心里一紧，连忙问道：“快说说，是什么问题？”

“是衬底的预处理！”张远方指着实验记录，“我们之前的预处理流程，只做了清洗和烘干，忽略了表面的应力释放。碳化硅衬底在切割过程中，会产生微小的应力，如果不提前释放，在生长外延层的时候，应力就会导致晶格畸变，平整度自然就上不去了！”

他拿起一支笔，在纸上画出一个简易的流程图：“我建议，在预处理阶段，增加一道高温退火工序。温度控制在1200摄氏度，保温两小时，让衬底表面的应力充分释放。然后再进行清洗，这样就能从源头上解决问题！”

技术负责人凑过来看了一眼，恍然大悟：“对啊！我们怎么没想到这一点！张博士，你这一下就点醒了我们！”

“事不宜迟，立刻调整实验方案，今晚就做实验！”张远方大手一挥，语气斩钉截铁。

夜幕降临，实验大楼里依旧灯火通明。

外延生长炉的温度，缓缓攀升到1200摄氏度。通红的炉膛里，碳化硅衬底静静地躺着，接受着高温的淬炼。张远方和技术团队的成员们，守在监控屏幕前，眼睛一眨不眨地盯着各项参数的变化。

时间一分一秒地过去，每一秒

都显得格外漫长。

两小时后，退火工序结束。衬底被取出，经过清洗、烘干，送入外延生长炉。

气体流量精准调控，温度缓慢上升，外延层在衬底表面，一点点地生长。

监控屏幕上，代表平整度的曲线，渐渐变得平稳、光滑，波动范围，稳稳地控制在了0.05微米以内！

“成了！成了！”技术负责人激动地大喊起来，声音里带着哭腔。

实验室里，一片欢呼雀跃。

张远方看着屏幕上的曲线，长长地舒了一口气，紧绷的肩膀，终于松弛下来。他转过身，看到站在门口的黄江北，脸上露出了疲惫却灿烂的笑容。

黄江北快步走上前，紧紧握住他的手：“张博士，辛苦了！谢谢你！”

“这是我们团队一起努力的结果。”张远方摇了摇头，随即又想起了什么，“对了，黄市长，我那两个师弟，已经答应来沪上了！他们明天就到！”

“太好了！”黄江北的脸上，满是喜悦，“我已经让人安排好了办公室和实验室，就等他们来大展身手！”

窗外，夜色正浓，星光璀璨。

实验大楼的灯光，如同夜空中最亮的星，照亮了沪上科技创新的道路。

张远方看着身边欢呼的团队成员，看着眼前意气风发的黄江北，心中涌起一股强烈的自豪感。他知道，这只是一个开始。在沪上这片热土上，他们还有更多的难题要攻克，还有更长的路要走。

但他更相信，只要他们齐心协力，就没有跨不过的坎，没有攻不破的关。

第三代半导体的量产之梦，正在这片土地上，缓缓绽放。