第521章 步进扫描光刻机

一直到下午五点多，在两位大师傅的主导下，机组才被稳稳地安置在预定位置。

到此工作也没结束，有沈永健指挥着连接冷媒铜管，冷凝水排水管以及与空气系统相连的专用净化风管。

曹俊则跟着钱田宝，将机组的控制线缆接入车间的总控配电柜中。

又是约莫半个小时，空调机组才真正安装到位。

屋内一番打扫调整后，由杜师傅按下电源开关，空气系统与空调都运作起来。

采用涡旋式压缩机，整个空调的声音很轻，也没什么振动。

如今就等车间内装好温度、湿度等测控仪器后，观察最后的效果。

“怎么样？民用化的改进有想法么？”

趁着这时间沈永健询问起薛福根。

距离这空调图纸给到厂里也有半月，薛福根早有过琢磨，这会儿点头回应道。

“老师，民用版本的话从成本考虑，我准备选择活塞式压缩机。”

活塞式压缩机，目前全球都最为成熟的方案，也是成本最低的选择。

只是沈永健笑着摇了摇头，直截了当地点明道。

“你思考下转子式压缩机。”

…

“转子式？”

沈永健点了点头，耐心地为他剖析起其中的利弊。

“转子式压缩机在国际上早有出现，整体结构相对简单，零部件更少，体积也能压缩，比起活塞式要合适的多。”

“虽然对加工精度有一定要求，但不需要像涡旋式那样依赖极高精度的五轴联动设备。”

“以咱们国内目前的实际生产条件，以四轴数控机床为加工主体就完全足够了。”

“效控制制造成本的同时，在价格和性能上也更有竞争力。”

薛福根若有所思地听着，脑海中已经开始盘算起转子式压缩机的工艺路线与成本核算。

见他听进去了，沈永健继续引导道。

“在产品形态的选择上，我建议你先主攻壁挂式分体式空调。”

“这种空调体积小、不占地，安

装也相对方便，最契合普通家庭的居住环境。”

“等你把壁挂式分体机的技术彻底吃透，还可以尝试进行变频设计…”

这趟来一边是完成光刻机研制环境的搭建，一边也主要是给薛福根做启发。

既然都有工业领域使用的空调了，民用空调也可以试着研制起来。

空调这东西如今对国内而言，理论上的研制难度不高。

国内如今的工业技术积累，初步的产品研制不是问题，难的是对技术的整合与设计，如同他最早的六灯管收音机一般。

又因为国内本身暂无民用空调的市场，对薛福根而言其实设计难度会更高。

沈永健也尽可能替他开拓思路，将大致的空调想法托出。

尤其是日后的变频空调，也尽可能地先让薛福根有个印象。

一旁的曹俊原本也竖起耳朵听着，不过因为不明白的地方太多，很快就云里雾里，完全听不进去。

又是一个多小时。

屋内墙壁上挂载的几台高精度测控仪上，传感器数值一直在微微跳动。

起初，温度曲线还在小幅波动，但随着涡旋式压缩机的持续平稳运转，数字渐渐趋于平缓。

“21.61℃…21.65℃…22.01℃…”

温度算是屋内环境最重要的一项指标，直至稳定在22度左右开始停下，上下起伏在0.02度之间，湿度计也稳定在48%，这台精密空调机组算是达到预期。

边上的空气洁净度检测仪上，微小颗粒物的数值也再度直线下降，这让钱田宝与曹俊二人也松了口气。

两次试验，两次都没掉链子。

一切调试结束，沈永健也留在厂里陪大家吃晚饭。

厂里的小灶师傅似乎早就有准备，必不可少的红烧肉外，其他菜色也很丰富。

…

一连又是三天的测试。

空调机组与空气系统机组都完全符合预期。

沈永健也再次前来厂里，进行最后的光刻机升级工作。

车间外的审核与保卫同

志多了好几位，正严格检查着入车间观摩的人员。

主要就是多了几位技术部和研发处的优秀骨干。

这也是沈永健专门提的，光刻机技术保密要求高不假，但对于核心培养的技术人员还是要放宽。

前两代的光刻机升级研制属于特殊，毕竟当时研究微电子的也就那么些人，真正能看懂光刻机大致理论的人都寥寥无几，也没什么必要。

如今微电子厂主要进行集成电路的光刻生产，这些年下来也有一批优秀的同志脱颖而出。

对于改进新一代光刻机的观摩机会，沈永健自是希望新的同志能好好实际感受学习，而不是停留在纸面上。

且这次连带微电子所本身也来了好几位同志。

包括卓邵文与他的几位学生，包括沈永健自己带的学生。

新四车间内，众人静静看着沈永健与卓邵文以及两位大师傅检查所有的零配件。

偌大的车间极为安静，许多第一次见沈永健的技术员，当下甚至能听到自己的心跳和呼吸。

同时尽可能地平复着心情，知晓像今日这种机会难得，不敢打扰装配。

而防静电地板上的四人，穿着严密的无尘服，随着沈永健完成最后确认，便开始正式装配。

几人对于光刻机都是老行家，哪怕杜师傅是第一次参与装配，但通过这些年部分光刻机故障的维修经验，当下动作都行云流水，没有丝毫停顿。

“气浮导轨水平度微调完毕，直线电机定子锁紧。”

刘师傅盯着手中的高精度水平仪，声音透过口罩传出。

杜师傅负责硅片台的安装，这会儿扭矩扳手刚刚放下，配合着刘师傅对掩模台等设备的联通装配。

沈永健这会儿也加入了二人的组装工作，将才研制完成的激光干涉仪安装在关键位置。

由于零配件众多，且安装步骤极为复杂，每次安装到一定程度，还需要进行检验与修正，使得整个安装花费时间不少。

从上午八点到下午六点，中间一共短暂休息了四次，这台崭新的步进扫描光刻机才正式安装完成！