第530章 L-5芯片落成

好半晌后，笔触的声音停下。

众人眼中闪过期待，面对这延迟的问题，几人作为各小组的领导者在这头脑风暴了有好几日。

尤其是最近两天，更是熬了个通宵。

“邵文同志，你们讨论的方向没错。”

“这里的时钟树综合不要采用传统的对称结构，具体的可以用用这个非对称的缓冲器插入法。”

沈永健把修改好的大致图纸递过去，继续解释道。

“同时整个电源网格的线宽在关键路径上增加百分之十五，利用边缘电容效应来抵消延迟。”

“这样既能解决信号冲突，又不会大幅增加整体芯片的面积。”

卓邵文拿过图纸一看，心中对于沈永健的解决能力并不怀疑。

唯一讶异的，还是沈永健的效率，哪怕已感受过无数次，当下也还是觉得惊讶。

里头的设计方案思路方向就是他们目前讨论的。

只是沈工直接在短时间内，将思路对应的修改方案完成，并且还对他们整个方向上的连带调整内容也做了详细补充。

屋内其余几人也相互传递图纸思索，眼神很快发亮，心中释然。

“行了！让同志们按我这调整的重画一版方案交给仿真组测试。”

“要是没问题话，尽快进行流片，正好测测新光刻机的性能。”

“我还有一些新的设计，可还等着这款新芯片呢！”

大规模集成电路，沈永健的确十分期待。

当下熊猫牌的台式计算机，虽然在国际上被称为“个人计算机”的开端，但对沈永健来说还是差了些。

有了新芯片，计算机性能能提升，机身还能继续缩小，真正打开个人计算机的领域。

同时半导体的存储器也可以进一步推进。

“你们待会儿也回去好好休息，等待之后正式的流片工作。”

话音落下，整个办公室众人立刻忙碌起来。

大实验室内，众人对于卓所长风风火火的走进早已见怪不怪。

在见其眼中兴奋的光芒，一时间也都知晓定是原先的问题有了突破。

在接到其手中的图纸思路，以及任务分配后，大实验室内的团队众人，立刻忙碌起来。

其他各个研制小组也井然有序地配合着研制工作。

当天晚上九点，新一版的图纸便由众人加急绘制完成。

仿真组的同志，

约莫在晚上十一点左右才将整个图纸录入计算机，随即进行仿真测试。

结果不出意外，仿真顺利通过。

整个研究所便进入了流片的正式工作中。

……

几日后，微电子厂崭新的微电中心。

新四车间内，原本的L-4生产任务暂停，转由其他车间进行生产。

陈工亲自在车间内进行协调，以迎接微电子所众人的流片试制。

如今整个芯片研制过程也越来越偏向后世。

早期的芯片流片还在微电子所的实验室内。

如今因为最新的步进扫描光刻机在微电子厂内，流片工作也协调后在厂里进行。

一如后世真正的芯片工程那般，研究所或者大公司只负责设计与仿真，真正的流片与排期生产则交由工厂。

专用的精密空调和空气系统已提前开启。

沈永健、卓邵文以及几位核心骨干同志已穿戴上严密的防尘服，站在庞大的步进扫描光刻机前。

“掩模版和测试硅片都已经准备就绪。”

陈工带着身后的钱田宝以及曹俊走近。

这次流片的前期准备工作，都是由钱田宝与曹俊二人负责。

二人脸上有些激动和兴奋，哪怕厂里光刻生产早已习惯，但像这种光刻的流片还是第一次。

且按照陈工前几天交代的，这次要是流片能成，之后微电子所的芯片方案流片都会陆续交由他们工厂负责。

“开始吧。”

沈永健透过防尘面罩，注视向钱田宝。

流片日后预备交给工厂，这次则由他亲自带钱田宝二人进行工作。

钱田宝点了点头，在主控台上输入了确认指令。

“晶圆传送开始。”

整台光刻机正式启动，随着机械结构的响动，一片涂覆着光刻胶的测试硅片被平稳地送入光刻机的真空腔室。

车间内特殊的黄光亮起，以防止光刻胶提前曝光，屋内空气机组的过滤单元传来极其微弱的白噪音。

“对准系统启动，激光干涉仪锁定。”

曹俊紧盯着屏幕上的数据。

屏幕上，十字对准标记在多次校准后最终完美重合。

“曝光开始。”

庞大的步进扫描光刻机内部，深紫外光源瞬间激发。

掩模台与硅片台在激光干涉仪的精准控制下，再次开始了平滑的同步反

向扫描移动。

“第一曝光场完成，步进至下一场…”

卓邵文当下也忍不住走近，目光盯向屏幕上不断刷新的精度数据。

好在各项数值都在预期之中，甚至比原先完成时表现得还要优秀。

“光刻环节顺利。”

当最后一片测试晶圆完成曝光并被传出时，众人不约而同地松了一口气。

当然，这只是流片的第一步。

接下来，黄光区的光刻，显影，刻蚀区等等，需要的工序可不少。

毕竟是从头开始的流程，并非当天能完成看到结果。

一连五天，沈永健与卓邵文二人每日轮流前来指导。

晶圆在各大设备间流转，表面的电路结构从平面的光刻胶图案，逐渐变成了立体与错综复杂。

终于，在历经了上百道复杂工序后，第一批L-5芯片测试晶圆被送入了划片与封装测试区。

“开始晶圆级探针测试。”

…

“加电，测试时钟树和电源管理模块。”

测试台前，卓邵文亲自操作着测试仪器，手心已经微微出汗。

原先游移不定的模块，最终按沈永健亲自修改的非对称缓冲器插入法设计，如今便能看到实际的成果。

示波器上，绿色的波形开始跳动。

“时钟信号延迟…3.2纳秒！”

看着大机器内嵌屏幕上显现的数字，卓邵文瞬间激动起来。

之后还有一系列常规的测试矩阵。

这批流片的晶圆数目多了些，毕竟第一次带钱田宝二人，多做了几轮操作。

“沈工，首批测试晶圆共包含300颗裸晶，有效点亮并达到设计频率的…共237颗！”

“综合良品率达79%！”

…

“呼~！”

微电子所前来的众人当即都轻呼了口气。

曹俊同样眼神惊异，这几日不间断的流程下来，他成长学习得很快不假，但很多还是有些摸不清状况。

暂时只能记在笔记本内，以待之后再跟自己师傅钱工讨论。

唯独这良品率，他是真有概念。

毕竟L-4芯片初期量产的良品率还不到70%。

而这新一代L-5的芯片，集成度达超10000颗晶体管，超原先一倍多的数量，但当下的良品率就已经接近80%，这可是难得的成功！