第619章 下一代光源的抉择

气氛在这一刻骤然冷了下来。

文森蒂今年已年过六旬，头发和胡须都已经花白，在短暂的惊愕后，怒意瞬间升起。

他站起身，双手支撑在桌沿上，怒目望着史坦利。

“我可以认为你这是在对德州仪器进行指控吗？”

史坦利毫不退缩：“我不是对你进行指控，我只是坦言一个事实。那就是，你们为大陆的远芯提供了多少帮助，你们是明白的！”

“扯淡吧你！”卡莉的火气腾就上来了：“星海成立在远芯之后，你说我们提供帮助？”

史坦利冷冷一笑：“星海的最大股东是谁？”

“是星海基金。”没等卡莉回答，史坦利继续道：“星海基金的最大股东是谁？”

“星海的大股东是谁不重要。”卡莉瞪着史坦利，一字一句道：“我只告诉你，星海科技是一家总部位于硅谷，并遵守本国法律，其董事长以及超过四分之三的员工都是本国公民，其余人也是拥有合法永久居住权的硅谷企业。”

“我们与远芯科技的所有合作，都是在互利互惠的基础上，并遵守相关的法律规定所进行的合作，我希望你明白这一点。”

卡莉说完后便腾地起身，干脆利索地走出办公室。

有了卡莉的这一通火，文森蒂反而冷静了下来。

他皱着眉，沉默凝视了这位能源部中以强势著称，还明显带着冷战思维的技术官僚几秒后慢慢道：“史坦利先生，你任意夸大的做派，很有克格勃的风采。”

史坦利便耸了耸肩，表示自己根本不介意这个评价。

这时，张汝金突然悠悠道。

“史坦利先生，我想请教一个问题。”

“众所周知，铜的电阻小于铝，因此可以在更小的面积上承载更大的电流。而在大规模集成电路中，如果用铜导线工艺替换如今的铝导线，能达到更密集的晶体管设计，提高芯片效能。同时，铜的抗电子迁移能力也优于铝，因此，处理器的可靠性也会得到极大的提高。”

张汝金知道对方是技术官僚，对这些门儿清，因此并没有刻意解释，而是直接问道：“德州仪器实现了铜导线工艺，阁下认为，该工艺应可以授权给我们吗？”

史坦利先是怔了一下，随即便是一笑，然后又望向文森蒂：“你们实现了铜导线工艺？”

文森蒂理都懒得理他。

张汝金微微一笑：“我们德远半导体，实现了目前最优秀的铜导线工艺，比IBM的优秀许多。”

史坦利的笑瞬间凝固。

“而且，我们愿意授权给德仪。”

*

*

EUV联盟的成立，无疑表明了能源部或者说政府的态度。那就是，技术一定要掌握在自己手里。

苏远山不一样，他就是要要恶心一下那帮人。

更何况，相比远芯接下来的浸润式技术，铜导线工艺远谈不上核心。

铜导线工艺只能让德远领先一时，再加上德远现在的产能主要还是集中在YX架构以及闪存上，对于铜导线需求最急切的X86处理器反而因为市场缘故并没有产能，发挥不了太大的作用。

因此，授权给德仪，让德仪和星

海联手，一边恶心AI两家，同时再踩一脚岛上那两家想爬起来的代工厂，是怎么看怎么划算的事。

事实上，因为远芯长期不懈地坚持挖人，岛上的工程师已经流失了很多。以至于德远科技园这边的小区都被人称为小TW——小区里一大半都是岛上的工程师。

苏远山从首都直飞沪市。

……

“梁博士，晶圆厂制程工艺我是纯粹的外行。”

苏远山和梁梦松走在科技园的葡萄长廊下——这是张汝金见远芯这边葡萄路搞得挺好，刻意也copy了一个，再加上可以在葡萄架下听到牛郎织女说话的传说，对岛上这帮工程师的安抚效果意想不到的好。

苏远山找了个阴凉的地方和梁梦松一道坐下，呵呵笑道：“所以我就不班门弄斧了。”

“哪里，山总的全领域精通，是世人皆知的。”梁梦松说得很坦然：“我们还是希望山总能够指出方向。”

“真不敢——不过如果说方向的话，那就只有一条。”

“德远的制程优先，不用考虑任何其他因素的优先。就算今后上市了，要考虑到这样那样，也要坚定不移地这么走——股票爱买买，不买拉倒，大不了远芯回购。”

梁梦松舔了一下嘴唇，身上升起一股燥热。

——厂里都说自己是个技术狂人，但自己这点狂，在山总面前，还真的只算小儿科了。

“山总，这可是你说的。”梁梦松笑了起来：“制程推进很花钱的。”

“花钱怕什么？只要在关键制程上领先一步，一笔单子就赚回来了。晶圆厂是个赢家通吃的行业，谁掌握了先进制程，谁就掌握了高端芯片代工的定价权。”

梁梦松点头，他当然清楚，今后的制程推进会越来越难，投入需求也会越来越大——当然回报也肯定足够丰厚。

但远芯还有个问题。

“山总，那要是遇到光刻机禁售……怎么办？”

说到光刻机，苏远山马上便沉默了下来。

EUV已经如历史轨迹一样成立——ASML这个荷兰小公司，在签下了几乎是卖身契之后终于得以进入了EUV联盟。

可以想象，在接下来的数年内，ASML将会迅速从技术上同时对尼康佳能进行追赶，并如历史轨迹一般完成EUV的技术构想。

但历史轨迹又不一样的是，ASML完成对尼康佳能超越的关键团队，目前在苏远山手上。

“只要国产光刻机仍然在追赶，禁售就不会发生。”苏远山抿着嘴，沉默地望向远处的一栋大楼——那里便是林本坚和赵凯东的联合团队所在的实验室。

“而且我们一直都与多方的光刻机企业有技术支持和合作，这种交错的关系之下，除非德远受到了明确的针对，否则不会发生。”

梁梦松不擅长这些“大棋”，他只需要知道，苏远山说不会，那他就不用担心了。

而且德远目前也确实是尼康的友好客户，在去年WA协定签署后，国内半导体产业都风声鹤唳了许久，尼康为此还特意安排了工期……后面证明，霓国方面除了加强了检查之外，并没有干涉德远的订单。

“总之走着看，我们技术越有优势，就越有讨价还价的本

钱。”说着苏远山站起身，朝着前方的实验室走去。

……

“林叔，赵叔。”

苏远山见两人同时站在门口，连忙上前握手，梁梦松也上前打了招呼。

见到跟在苏远山身后的梁梦松，林本坚倒没什么，赵凯东则是微怔了一下——此时张汝金不在，按照规矩，负责接待陪同苏远山的显然应该是德远的二把手来……

按照职位算，梁梦松只能排到德远的第五。

这架势，看来苏远山是真铁了心的要全力推制程突破了。

在接待室落座后，苏远山简单问了一下目前的进度——在光源领域，因为林本坚的加入，赵凯东团队进展得很快，他们即将完成193nm的准分子激光光源技术。

虽然比起国外同行落后了差不多一年多，但好歹算是追上了。而且就现有的技术和理论来看，193nm将会成为很长一段时间内都无法突破的光源。否则灯塔国那边也不会成立EUV联盟，找寻新的出路了。

当然，对于如何跨越193nm，除了EUV之外，也有其他的方案。譬如尼康和SVG就在准备攻克157nm的HeF2激光，以及电子束投射(EPL)，离子投射(IPL)、甚至X光等等……

总之，就是解决的办法一箩筐，放眼望去全是路。

但具体哪一条是真正的正道，谁也不知道。

嗯，只有苏远山一个人知道。

因为这些方案，都败给了眼前这个乐呵呵的老爷子。

“林叔，赵叔，193nm之后你们的想法是什么？”坐到沙发上，苏远山端起茶杯抿了一口。

赵凯东和林本坚对视了一眼，随后笑着道：“193nm看样子都要停留很久，你这么着急？”

“我本来是不着急的。”苏远山很坦白：“主要是老美那边搞EUV，搞得我有点心慌。”

赵凯东便笑着摇了摇头：“虽然说光源要比光刻机领先很多，但193nm的光源现在都尚未用在光刻机上，你心慌也没用。”

“至于说下一代光源，其实我和老林并不十分看好157nm，因为HeF2激光可以说要完全推翻现有的光路系统，非但物镜要重新搞，光刻胶也要重新研制……最主要的是，波长步进提升不大，且投入产出比太高了。”

“EUV，听起来很不错，有点下一代光源的意思。但你看EUV联盟那架势……就不是我们这个小作坊能够完成的。”

苏远山便笑道：“有您二位在，咱们这实验室可不是小作坊。”

“呵呵，不管是不是，但设计师不是有句话吗？摸着石头过河……既然前面有人趟路了，那我们也干脆摸着石头过河就行了。”赵凯东笑道：“intel不是拉了那么多企业吗？你也可以拉一个嘛。”

苏远山：“……”

他算是听明白了，赵凯东的意思是，让他也搞个EUV联盟。

苏远山倒是想搞，可现在要是搞的话，那就不是远芯主导，而是所有人给霓国人打工。

于是他便望向林本坚。

“林叔？你有什么妙招没有？”

（注：虽然有点枯燥，但……总归还是得写。。。）