第610章 国产光刻机的研发进程，至少缩短了十年！

自从星源科技与华科协会下属的光电所，联手研发出了‘磁约束放电等离子体光源’（即MDP）技术后，便开始着手攻克光刻机的第二大技术壁垒——光学系统。

毕竟，单是‘造出光’还不行，还得‘用好这束光’，才能完成晶圆曝光，进而实现芯片的生产制造。

可让陈延森顿感无奈的是，国内EUV光源激发方式的主流研发方向，基本以激光产生等离子体、放电等离子体或者激光诱导放电等离子体为主。

而星源科技光学部绝大多数工程师的技能和项目经验，都与研发需求不匹配。

所以在研发配套光学系统时，进度极为缓慢。

要知道，EUV光几乎会被所有物质吸收，因此无法使用传统的玻璃透镜，整个光路必须在真空环境中使用反射式光学系统。

收集镜、照明系统、投影物镜系统、掩膜版和掩膜台都得设计配套的技术方案。

MDP-EUV光源技术确实走出了一条独特的新路，但这种创新并非没有代价。

一切障碍，都要自己去扫平。

陈延森在获悉光学部的研发进度后，立马就绝望了。

他心里清楚，若不给这帮人指条明路，恐怕五年、十年，都没法往前迈出一步。

不得不说，他高估了林南团队的水平。

他没想到，这么简单的配套技术方案，林南等人却在正确的路口边缘，足足蹭了四五十天，却无丝毫进展。

于是，陈延森在开发出脉思（Mass）V1.0后，又马不停蹄地设计出了“多壳层掠入射椭圆收集镜系统”。

这玩意本质上是一套精密的多层膜镜子，可以高效捕获EUV光源，并将其初步聚焦引导至照明系统里。

难点主要有两个：收集效率和抗损伤能力。

前者是因为EUV光线是向四面八方发散的，若想提升收集效率，就得设计复杂的多镜拼接结构，同时保证每片镜子的角度校准精度都要达到微米级。

然而，任何角度上的偏差都会导致光线漏失，从而影响到收集效率。

后者是因为等离子光源被激发后，会产生极高的温度，这就需要超强的抗损伤能力。

收集效率要求多层膜具备“薄、匀、纯、无遮挡”等特性，以最大化反射率和角度适配性。

而抗损伤能力要求多层膜又得“厚、硬、耐侵蚀”，必须增加额外保护层的材料。

听起来很矛盾，但这也正是收集镜的技术难点所在。

陈延森设计的这套“多壳层掠入射椭圆收集镜系统”，便很好地平衡了收集效率与抗损伤能力。

不仅能够高效捕获由高功率脉冲放电、轰击金属锡靶产生的13.5纳米EUV光，还能将其汇聚到远处的中间焦点，为后续的照明系统提供足够功率且均匀的光束。

与此同时。

林南很快就发现了这封加密邮件，在打开技术文档后，先匆匆扫了一眼，接着就愣在了原地。

老板发来的这套方案太完整了，从光学设计的构型、入射角，再到基底材料、反射涂层、热管理子系统和电磁场碎屑减缓系统，甚至连镀膜工艺的参数表、误差校准的算法模型都附带在内。

此前光学部争论了半个月的“多镜拼接角度偏差”问题，文档里直接给出了“激光干涉实时校准”的解决方案，就连校准用的激光波长、采样频率都标注得一清二楚。

林南猛地站起身，声音都有些

发颤：“这简直是把答案写了出来！”

技术文档里没署名，这套技术是老板买来的、抢来的，还是说除了星源科技光学部，森联资本其实另有研发实验室？

林南坐在工位上，忍不住胡思乱想着。

上次MDP-EUV光源技术的事，他就问过梁劲松和陈延森。

梁劲松一头雾水，陈延森则让他别瞎打听，他也只能把满肚子好奇压在心底。

可这一次，他又按捺不住了。

实在是“多壳层掠入射椭圆收集镜系统”的技术太强了，完全是一套完整且成熟的技术方案，由不得他不多想。

林南沉吟半晌，最后苦笑了一声，捏着手机的右手重新放下。

他知道有些问题，别人不想说，就代表不能说，或者说根本没有答案。

随后，他连忙召集核心研发人员开会。

会议室内，当大家看到文档中“多壳层椭圆结构”的三维模型时，原本沉闷的气氛瞬间沸腾。

光学系统设计组的主任工程师指着屏幕说道：“内层镜负责捕获中心60度范围内的EUV光，中层镜覆盖60到120度，外层镜补全120到180度，这样收集效率至少能提升到80%，压根就没法比，我们之前的那套方案跟垃圾有什么区别？”

更让众人惊喜的是热管理子系统！

文档中提出在镜体内部嵌入微通道水冷结构，搭配耐高温的钼铼合金基底，既能承受等离子体的高温冲击，又能避免温度过高导致多层膜脱落。

“我们最担心的‘高温损伤’问题，这套方案竟然连水冷通道的直径、水流速度都算好了！”

材料组的工程师翻到工艺参数页，激动地说道。

“对了，林工！这个梯度涂层的方案，从钼硅多层膜到二氧化硅保护层，每层的厚度误差控制在0.1纳米以内，还得用脉冲激光沉积法分80次沉积，这精度咱们的设备能达到吗？”

有人面露难色地担忧道。

林南皱起眉头，看向设备组的主任工程师问道：“蔡司镀膜机在恒温恒湿环境下，能不能把精度稳定控制在0.05到0.1纳米之间？”

设备组的主任工程师想了想，非常严谨地回答道：“连续沉积10层钼硅膜，厚度误差最小0.04纳米，最大0.09纳米，刚好能满足方案要求。

但问题是，每次换靶材、调整激光功率时，误差会出现0.12到0.15纳米的波动，80次沉积下来，累积误差可能会超标。”

林南思索片刻，给了一条解决思路：“那就加一道实时校准的流程，算法组先开发一套膜厚监测程序，跟镀膜机的传感器联动，每沉积10层，就自动暂停，用电子显微镜扫描膜厚。

根据实测数据调整下一轮的激光功率和沉积时间，把单次误差控制在0.05纳米以内。

另外，在镀膜机周围加一圈恒温罩，避免温度的负面影响。”

其他人闻言，顿时豁然明悟。

林南毕竟是沪城光学精密机械研究所的高级工程师，能力和技术兼而有之，又是胡锐晖极力推荐的人才，关键时刻能拿出行之有效的方案倒也正常。

事实上，在陈延森看来，像林南等人，智商、领悟力和创造力都不错，但苦于接触不到EUV光学的顶尖技术，这才像是鬼打墙似的，一直绕弯路。

若是能拥有同等的科研环境，林南未必开发不出一套收集镜系统，可很多事终究没有如果。

而陈延森能搞定这项技术，靠的也是远超常人百倍的精神力，以及能让他进入超频思维状态的【普朗克时钟】天赋。

不然以他原本的能力，或许也能突破这项技术，但要花费的时间，绝对不止半个月。

在拿到“多壳层掠入射椭圆收集镜系统”的技术方案后，星源科技光学部上下，立刻投入全部精力，以最快的速度反复打磨、全力复现，力求将这套系统成功应用到实际生产中。

算法组连夜加班，三天内就完成了膜厚监测程序的开发。

该程序可以实时采集镀膜机的激光功率、沉积时间数据，还能自动生成膜厚误差曲线，当误差超过0.05纳米时，将会触发暂停指令，进而对精度进行实时校准。

由于研发中心还有大量光电所的工程师，所以科学协会的大佬们，没过多久就得知了星源科技的技术突破。

“老胡，你帮我问问，星源科技还缺不缺人？”

沪城光学精密机械研究所的汪象朝，主动拨通了胡锐晖的电话，支支吾吾地说道。

“什么意思？你想辞职？开什么玩笑！”

胡锐晖反问道。

汪象朝可是沪城光学精密机械研究所的中流砥柱，主要的研究方向都在EUV光源领域，前后申请了170余项专利，妥妥的行业大牛。

“老胡啊，星源科技连自研的收集镜系统都弄出来了，你知道这意味着什么吗？再往下走，光源系统就能彻底打通，一旦完成双工件台的研发工作，第一台国产EUV光刻机就有了技术根基，你明白吗？”

汪象朝拿着电话，接连问道。

“老汪，你都一把年纪了……”

胡锐晖幽幽说道。

“放屁！六十岁，正是拼搏的年纪！算了，我还是找林南吧，不管怎么说，我也是他的老领导。”

汪象朝见胡锐晖推三阻四的样子，瞬间气不打一处来。

按理说，他找林南更方便，却有点抹不开面子。

“这套系统的影响力有这么大吗？”

胡锐晖是芯片设计工程师，对EUV光刻技术自然了解，但仅限于表面。

比如一个人吃过蛋糕，也知道这玩意是用哪些材料制作的，但制作步骤和细节是什么，他就不清楚了。

“国产光刻机的研发进程，至少缩短了十年！”

汪象朝语气笃定地给出评价。

胡锐晖深知汪象朝性格严谨，绝不会信口开河，他深吸一口气，终于意识到星源科技的变态之处。

消息层层上报，一份详尽的调查文件，迅速递到了李青松的办公桌上。

“保密管控，再把光学、双工件台和调平调焦领域的科研人员，抽调一部分送去星源科技。”

研讨会是上午开的，决议是当天生效的。

国产EUV光刻机的诱惑力太大了！

只要参与其中，便能从中捞取一份足以载入史册的功绩，这种机会，谁也不愿错过。

李青松的决议下达后，全国范围内的科研资源开始向星源科技汇聚。

三天后，来自沪城光学精密机械研究所、华科协会沈阳自动化所、国防科大等协会的87名专家陆续抵达庐州。

既有汪象朝这样深耕EUV领域数十年的行业泰斗，也有在双工件台、调平调焦系统研发中崭露头角的青年骨干。

就连华卓精科所掌握的65纳米制程双工件台技术，都被送去了沪城。