第811章 光刻工厂试验成功，颠覆性的技术再现

2019年，1月15日。

唐都市半导体材料产业园。

唐都市这两年来，已经开发了诸多的产业园。

半导体产业园，玄武电池产业园等等，这些产业园的出现都是和银河科技有着极大的关系。

可以说如果没有银河科技，就不会有这些产业园的出现。

并且，这些产业园也是真的有技术，有投资，有产业，而不是其他城市，盖几座楼，修几条路，就对外说这是产业园。

这个产业园区平时很低调，低调到很多人都不知道这个产业园里面，有着一个超级大国重器。

这个超级大国重器就是光刻工厂。

在光刻工厂技术被验证具备可实现性的时候，上面就在最短的时间，给银河科技拨了一块500亩的地，来盖光刻工厂。

这块工业用地，完全是免费的。

不仅如此，还给银河科技拨了十个亿的建设资金，作为奖励。

并且，还联系了官方建设团队，把光刻工厂的建设当成了政治任务传了下去。

如此一来，接下来的事情就很简单了。

银河科技只需要给出需求和技术，以及出钱，剩下的全交给官方就行了。

官方出手，速度自然是不同凡响的。

全方位的保障，让建设速度就像是按下了加速键一样，所以，这么大的一个超级高科技工厂，就在短短的时间内完成了建设，并且进入了试投产。

是的，今天就是光刻工厂要进行试投产的日子。

一大早，整个产业园就已经被穿着西服的精壮青年给安保了起来。

唐都市的领导，秦省的领导，以及来自京城的领导。

还有一支来自总台的记者团队，悄然来到了产业园。

光刻工厂控制中心。

能够出现在这里的人并不多。

唐都市大总管吴青松、秦省二总管段证、秦省科技厅总管、京城工信部副总管以及科技部高新司司长等人。

光刻工厂的负责人，则是王东来专门挖来的高级专家梁松。

在原时空，中心正是有了梁松的加入，才在300天内就攻克了14纳米工艺技术的难关，并将中心国际的工艺良品率提升到95%。

这个能力，不可谓不强大。

但就是这么一个顶尖人材，居然在后面，因为企业内部争权夺利，被赶了出去。

这简直就像是一个黑色幽默。

不过，这一时空，王东来就没有给中心国际这个机会了。

在梁松刚脱离竞业限制期之后，就立即亲自上门，把此人挖了回来。

而打动这样的顶尖人才，只有金钱是远远不够的。

但王东来只是用了短短三句话，就打动了梁松，让他坚定内心，选择加入银河科技半导体。

现在，站在指挥中心的梁松，神情之中藏着说不出的激动和亢奋。

如果今天的光刻工厂试投产完成的话，所代表的意义就太重大了。

控制中心的灯光明亮无比，巨大的环形屏幕被分割成二十多个窗口，最中间的大屏幕上有这一个极为醒目的倒计时。

距离启动还有三十分钟！

刘总管站在屏幕前面，手指轻轻地敲在了台面，发出轻微的咚咚声。

“梁博士，昨晚最后一次联调，双工作平台同步误差控制在多少？”

能够出现在这里，刘总管自然是懂一点技术的。

真要是一点都不懂的话，下去视察工作，被人骗了都不知道。

梁孟松作为负责人，下意识地看了一眼王东来，才出声说道：“报告领导，同步误差≤2nm，达到设计指标！”

声音带着一丝沙哑，若是细看的话，就能看到梁松的眼球上的红色血丝。

这大半年来，梁松完全是吃住在了这里。

如果说别人是996上班的话，那么梁松就是007了。

在光刻工厂上，他投入的精力是最大的。

不知道熬了多少个通宵，加了多少班。

要不是王东来专门给梁松配了一支医疗团队，来保证他的身体健康，恐怕早就熬垮了。

可就算是这样，他脸上的疲惫之色依然极为明显。

二总管拍了拍梁松的肩膀，鼓励着说道：“省上一直都很关注这里，到时候会为你们请功的，你们是全省半导体产业的功臣。”

吴青山也跟着表态说道：“梁博士，不要紧张，相信王院士的实力，也要相信你们的能力。”

梁松点了点头，深吸一口气，强行压下心里的激动。

而王东来在一旁看着，神情之中透露出一股强大的自信。

光刻工厂的技术路线

，如果按照原时空发展，恐怕几十年内都不可能会实现。

但是，在这个时空，有了他的出手，情况就不同了。

光刻工厂的核心技术，其实说穿了，就是靠着娲在控制。

也就是说，光刻工厂是以现在的技术水平根本无法复现的。

只要王东来愿意，随时都可以撤走娲的控制，从而让光刻工厂失败。

不仅仅是光刻工厂，就连玄武电池也是类似的手段。

狡兔死，走狗烹，飞鸟尽，良弓藏。

这句话，王东来还是知道的。

时间很快过去，就来到了九点钟。

控制中心顿时响起了清晰的指令声音：“各单位注意，光刻工序启动倒计时开始。”

“十！”

“九！”

“八！”

“……”

所有人都下意识地屏住呼吸，目光死死地盯着面前的屏幕。

“激光光源准备！”

“投影物镜聚焦完成！”

“曝光开始！”

随着一个个命令下达，整个工厂都陷入了一种极为严肃而又认真的氛围之中。

光刻技术作为高科技中的高科技，技术含量是极高的。

所以，也就代表着能够出现在这里的工人，文化水平都不可能太低。

最低最低也得是个重本才行。

像是硕士，博士更是一大片。

尤其这可是全球唯一的光刻工厂技术，具备全球唯一性，更是不知道吸引力多少学者专家的目光。

不少人连工资都不想要，甚至还愿意倒贴钱进来，为的就是能够近距离接触这个技术。

这在学术界，可是具备极大的学术价值。

所以，外人都能够想明白的事情，在这里工作的众多员工也很清楚。

此刻毫无疑问就是决定他们命运的关键时刻。

只要光刻工厂成功了，那么他们就能伴随着这个成功，在事业上取得新的成就。

可要是失败，一切休提！

从指挥中心的屏幕上，可以看到每个流程的画面。

这里毕竟是光刻工厂，而不是芯片生产流程，不会从一堆沙子变成芯片开始。

就只见到机械臂把一片12英寸的硅片，缓缓送到固定位置，在这个硅片上所涂抹的光刻胶，正是银河科技自研出来的产品。

包括EDA设计软件，再到掩膜台，这些核心软件以及设备都是银河科技自主研发，突破西方技术完成的。

众人看着屏幕里的硅片，就像是在看稀世珍宝一样，充满了期待。

当晶圆精准对接至双工作台的瞬间，屏幕上的对位误差数字立刻就跳出了一个精准数字。

0.05μm！

这个数字是什么意思呢，相当于头发丝直径的千分之一！

很快，光斑在晶圆表面上开始移动，如同用纳米级的刻刀在绘制电路图案。

小小的一枚芯片，看上去可能还没有小拇指指甲大，但是放到高精显微镜下，就能看到密密麻麻的电路图案。

只有看到这个场景，才会知道芯片上所存在的技术是何等强大。

设备运行发出的低鸣声，在安静无比的指挥大厅里面变得刺耳起来。

只不过，在场的众人都没有嫌弃这个声音，甚至于连呼吸都不敢大声，害怕会有影响。

第一片被曝光完成的晶圆被送到显影机，光刻胶经显影液处理后，电路图案逐渐显影。

当晶圆从设备中送出时，测试主管快步上前，用机械臂将其转移至电子显微镜下。

屏幕上，28nm的晶体管阵列整齐排列，线条边缘光滑如镜，没有一丝毛刺。

“线宽均匀度98.7%！”测试主管的声音带着颤抖，“符合设计标准！”

控制中心里响起第一阵压抑的掌声，随即又迅速安静起来。

因为真正的“大考”还在后面，接下来的蚀刻、离子注入、金属沉积……还有100多道工序，任何一步失误都会让前面的努力功亏一篑。

时间一分一秒过去，晶圆在不同车间流转，控制中心的屏幕上实时更新着每道工序的参数：蚀刻深度误差≤2%，离子掺杂浓度均匀性≥99%，金属布线良率95%……

数据曲线像一条绷紧的弦，时高时低，却始终在合格线以上徘徊。

因为整个流程不是一两个小时就能完成的，所以领导们是专门抽出了一天的时间，留在这里，要亲眼看到光刻工厂的正式投产的情况。

如果出现问题，就要立即找出问题，并解决。

如果成功的话，那就立刻汇报上去，这将会成为又一个领先全球的技术，极大地增强我们的

话语权和竞争力。

到了中午的时候，是专门送来的盒饭，而不是专门去外面吃。

就连休息，也是临时征用了工厂的员工休息区。

“下午的化学机械抛光（CMP）是关键，表面平整度要控制在0.5nm以内。”

“别忘了检测金属互联层的接触电阻，这直接影响芯片性能。”

梁松在给下面的流程组长一边讲着技术核心要点，一边回顾着中午的表现，进行复盘。

这个时候，王东来走了过来。

当王东来出现的时候，在场的众人都站了起来。

这倒并不是因为王东来老板的身份，而是他们对于王东来所掌握的技术的钦佩。

光刻工厂的技术核心，完全就是王东来一手完成突破的。

到了现在为止，还有很多技术是他们知其然，不知其所以然的。

看似他们是光刻工厂的技术管理人员，实际上就和按开关的猴子没有多大区别。

说的夸张一点，如果王东来愿意写出一个详细至极的操作手册，那么他们这些人都可以离职了。

随便挑一些记性好，服从性好的员工，背熟操作手册，就按照上面的规定去做，也不见得会比他们做的差。

“老板！”

众人齐声喊道，语气之中有崇拜，有敬畏，还有一丝羡慕。

“好了，大家都坐。”

“今天对于集团，对于你们来说，都是很重要的一天。”

“是骡子是马，拉出来溜溜，光刻工厂前前后后也投入了好几百个亿，成功了，原地翻倍。”

“在我这里，没有失败！”

“早上大家的表现还行，还有很大的进步空间，考虑到这是第一次，我能够理解。”

“下午的时候，你们放平心态，不要考虑太多，就按照平时做的那样去做。”

“技术是不会骗人的，机器是稳定的，所以成功就是成功。”

“给你们说一个消息，所有员工，这个月多发一个月工资作为辛苦费，和项目成功奖励不冲突。”

王东来当老板，自然是懂得该如何激励员工做事。

画大饼，一时有用，信誉破产之后，只能起到反效果。

最有效的就是发钱，咔咔发钱就行。

就算是对钱不怎么看重的人，也不会拒绝老板发钱，做起事来，也会更加上心。

果不其然，在王东来宣布了这个消息之后，众人的神情立即就变得激动兴奋起来。

激励完众人之后，王东来便离开，众人也都很快回到了各自工作岗位上。

下午三点，晶圆进入最后一道工序，晶圆测试。

当探针卡接触到芯片Pad点时，控制中心的空气仿佛凝固了。

屏幕上跳出第一组测试数据：逻辑功能测试：通过

漏电率：0.01μA/mm

最大工作频率：3.2GHz

良率：96.7%

“良品率96.7%！”

看到这个测试数据，测试工程师立即一脸激动地站了起来，声音都因为太过激动而有些破音了。

这一刻，控制中心的安静被瞬间打破。

先是一声压抑不住的欢呼，随即像星火燎原般扩散——年轻的工程师们互相拥抱，有人抹着眼泪笑，有人举起写满参数的笔记本挥舞。

就连各位领导的脸上也不由地露出了如释重负的笑意。

光刻工厂所承载的意义太过巨大了。

不要看只有这几位领导出现在这里，更多的领导都是在暗暗地关注着这里的消息。

现在，这个测试数据一出，虽然还只是第一批，可是已经足够让人放心了。

就算是后面的产品数据不尽如人意，那也只是工艺优化的问题，而不是光刻工厂的技术路线问题。

刘总管快步走到梁松的面前，紧紧地握住梁松的手说道：“梁博士，你们创造了奇迹啊！”

“今天的成绩代表着我们已经打破了西方光刻机的领先地位，我们重新开辟出了新的赛道，为半导体行业发展打开了新的领域，意义重大啊！”

面对刘总管的夸赞，梁松很快就从激动之中清醒过来，下意识地解释道：“领导，我只不过是一个执行者而已，真正提出光刻工厂构思，并完成核心技术突破研发的人是我们老板，他才是功劳最大的。”

随着梁松这句话说出口，立即就让众人把目光放到了王东来的身上。

而这个时候，众人这才注意到王东来的异样。

在所有人都在为这个测试数据而感到高兴的时候，王东来却皱着眉毛，任谁都能看得出来他有些不喜，一时间，倒是让众人生出了兴趣，产生好奇。